| |
| Обозначение | ГОСТ Р 8.628-2007 |
| Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления |
| Заглавие на английском языке | State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection |
| Дата введения в действие | 01.02.2008 |
| ОКС | 17.040.01 |
| Код КГС | Т88 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов |
| Ключевые слова |
длина; рельефные меры нанометрового диапазона; монокристаллический кремний; размеры; формы; материал; растровые электронные измерительные микроскопы; зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы; |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
| Дескрипторы (английский язык) | state system, measurements, uniformity ensuring, single- crystal silicon, nanometer range, relief measure, geometrical shapes, linear size, manufacturing material |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ Р 8.629-2007;ГОСТ Р 8.630-2007;ГОСТ Р 8.631-2007;ГОСТ 19658-81 |
| Управление Ростехрегулирования | 310 - Управление метрологии |
| Технический комитет России | 441 - Наукоемкие технологии |
| Дата последнего издания | 16.07.2007 |
| Количество страниц (оригинала) | 11 |
| Организация - Разработчик | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" |
| Статус | Действует |
Скачать бесплатно "ГОСТ Р 8.628-2007" в формате pdf 