ГОСТ Р 8.630-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки

ОбозначениеГОСТ Р 8.630-2007
Заглавие на русском языкеГосударственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки
Заглавие на английском языкеState system for ensuring the uniformity of measurements. Atomic-force scanning probe measuring microscopes. Methods for verification
Дата введения в действие01.02.2008
ОКС17.040.01
Код КГСТ88
Аннотация (область применения)Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал микроскопа - один год
Ключевые слова длина;  рельефные меры нанометрового диапазона;  сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы;  методика поверки;  
Термины и определенияРаздел стандарта
Вид стандартаОсновополагающие стандарты
Дескрипторы (английский язык)state system, uniformity ensuring, measurements, atomic-force scanning probe, measuring microscopes, verification
Нормативные ссылки на: ГОСТГОСТ Р 8.628-2007;ГОСТ Р 8.629-2007;ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005;ГОСТ 12.2.061-81;ГОСТ ИСО 14644-1-2002
Управление Ростехрегулирования310 - Управление метрологии
Технический комитет России441 - Наукоемкие технологии
Дата последнего издания16.07.2007
Количество страниц (оригинала)11
Организация - РазработчикОткрытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
СтатусДействует