| |
| Обозначение | ГОСТ Р 8.631-2007 |
| Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки |
| Заглавие на английском языке | State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron measuring microscopes. Methods for verification |
| Дата введения в действие | 01.02.2008 |
| ОКС | 17.040.01 |
| Код КГС | Т88 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес. |
| Ключевые слова |
длина; рельефные меры нанометрового диапазона; растровые электронные измерительные микроскопы; методика поверки; |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
| Дескрипторы (английский язык) | state system, uniformity ensuring, measurements, scanning, electron measuring microscopes, verification |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ Р 8.628-2007;ГОСТ Р 8.629-2007;ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005;ГОСТ 12.2.061-81;ГОСТ ИСО 14644-1-2002 |
| Управление Ростехрегулирования | 310 - Управление метрологии |
| Технический комитет России | 441 - Наукоемкие технологии |
| Дата последнего издания | 16.07.2007 |
| Количество страниц (оригинала) | 11 |
| Организация - Разработчик | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" |
| Статус | Действует |
Скачать бесплатно "ГОСТ Р 8.631-2007" в формате pdf 