ГОСТ Р 8.635-2007
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки

ОбозначениеГОСТ Р 8.635-2007
Заглавие на русском языкеГосударственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки
Заглавие на английском языкеState system for ensuring the unifоrmity of measuremеnts. Atomic-forсe scanning probe microscopes. Method for calibration
Дата введения в действие01.08.2008
ОКС17.040.01
Код КГСТ88
Аннотация (область применения)Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629
Ключевые слова длина;  рельефные меры нанометрового диапазона;  сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы;  методика калибровки;  
Термины и определенияРаздел стандарта
Вид стандартаОсновополагающие стандарты
Дескрипторы (английский язык)state system, ensuring, unifоrmity, measuremеnts, atomic-forсe microscopes, scanning probe microscopes, calibration
Нормативные ссылки на: ГОСТГОСТ Р 8.628-2007;ГОСТ Р 8.629-2007;ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005;ГОСТ 12.2.061-81;ГОСТ ИСО 14644-1-2002
Управление Ростехрегулирования310 - Управление метрологии
Технический комитет России441 - Наукоемкие технологии
Дата последнего издания16.01.2008
Количество страниц (оригинала)11
Организация - РазработчикОткрытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"; Государственное образовательное учреждение высшего професионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)"
СтатусДействует