| |
| Обозначение | ГОСТ Р 8.644-2008 |
| Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки |
| Заглавие на английском языке | State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for calibration |
| Дата введения в действие | 01.06.2009 |
| ОКС | 17.040.01 |
| Код КГС | Т88 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов, линейные размеры и материал для изготовления которых соответствуют требованиям ГОСТ Р 8.628. Рельефные меры применяют для измерения линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт устанавливает методику калибровки рельефных мер |
| Ключевые слова |
рельефные меры нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов; сканирующий зондовый атомно-силовой микроскоп; лазерный интерферометр; методика калибровки; |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
| Дескрипторы (английский язык) | state system, ensuring, uniformity, measurements, nanometer range, measure, trapezoidal profile, elements, method, calibration |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ Р 8.628-2007;ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005;ГОСТ 12.1.040-83;ГОСТ 12.2.061-81;ГОСТ ИСО 14644-1-2002 |
| Управление Ростехрегулирования | 310 - Управление метрологии |
| Технический комитет России | 441 - Наукоемкие технологии |
| Количество страниц (оригинала) | 18 |
| Организация - Разработчик | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"; Федеральное государственное учреждение "Российский научный центр "Курчатовский институт"; Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)" |
| Статус | Действует |
Скачать бесплатно "ГОСТ Р 8.644-2008" в формате pdf 