| |
Обозначение | ГОСТ 26239.4-84 |
Заглавие на русском языке | Дихлорсилан. Методы определения примесей |
Заглавие на английском языке | Dichlorsilane. Methods of inpurities determination |
Дата введения в действие | 01.01.1986 |
ОКС | 77.120.99 |
Код КГС | В59 |
Код ОКСТУ | 1709 |
Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает два метода определения примесей в дихлорсилане: химико-атомно-эмиссионный с возбуждением спектров дугой постоянного тока и химико-атомно-эмиссионный с возбуждением спектров разрядом с горячим полым катодом |
Ключевые слова |
дихлорсилан; определение примесей; метод химико-атомно-эмиссионный; аппаратура; материалы; реактивы; |
Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
Вид требований | Документ имеет отметку * |
Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 123-78;ГОСТ 804-72;ГОСТ 849-70;ГОСТ 859-78;ГОСТ 860-75;ГОСТ 1277-75;ГОСТ 3640-79;ГОСТ 3778-77;ГОСТ 5905-79;ГОСТ 6008-82;ГОСТ 6836-80;ГОСТ 8321-74;ГОСТ 10297-75;ГОСТ 10691.0-84;ГОСТ 10928-75;ГОСТ 11069-74;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 13637.1-77;ГОСТ 13874-83;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 16024-79;ГОСТ 17746-79;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20292-74;ГОСТ 23463-79;ГОСТ 26239.0-84 |
Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
Разработчик МНД | Российская Федерация |
Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
Дата последнего издания | 21.01.1985 |
Входит в сборник | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа |
Количество страниц (оригинала) | 20 |
Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
Статус | Действует |