| |
| Обозначение | ГОСТ Р 8.627-2007 |
| Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений |
| Заглавие на английском языке | State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements |
| Дата введения в действие | 01.07.2007 |
| ОКС | 17.020 |
| Код КГС | Т84 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике |
| Ключевые слова |
рефлектометр; коэффициент диффузного отражения; коэффициент зеркального отражения; средство измерений; вакуумное ультрафиолетовое излучение; |
| Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
| Дескрипторы (английский язык) | state system, еnsuring, uniformity, measurements, coefficients, transmittance, ultraviolet radiation |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 8.195-89;ГОСТ 8.197-2005;ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001 |
| Документ внесен организацией СНГ | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии |
| Управление Ростехрегулирования | 310 - Управление метрологии |
| Технический комитет России | 386 - Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии |
| Дата последнего издания | 24.04.2007 |
| Количество страниц (оригинала) | 8 |
| Организация - Разработчик | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП "ВНИИОФИ") |
| Статус | Действует |
Скачать бесплатно "ГОСТ Р 8.627-2007" в формате pdf 