| |
| Обозначение | ГОСТ Р 8.640-2008 |
| Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки |
| Заглавие на английском языке | State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods |
| Дата введения в действие | 01.01.2009 |
| ОКС | 17.020 |
| Код КГС | Т84 |
| Код ОКСТУ | 0008 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок |
| Ключевые слова |
энергетическая освещенность; спектральная чувствительность; средства измерений; ультрафиолетовое излучение; радиометр; фотолитография; |
| Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
| Дескрипторы (английский язык) | state sysem, ensuring, uniformity, measurements, radiometer, ultraviolet radiation , photolithography, technological processes, testing, methods |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001 |
| Документ внесен организацией СНГ | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии |
| Управление Ростехрегулирования | 310 - Управление метрологии |
| Технический комитет России | 386 - Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии |
| Дата последнего издания | 15.05.2008 |
| Количество страниц (оригинала) | 15 |
| Организация - Разработчик | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ) |
| Статус | Действует |
Скачать бесплатно "ГОСТ Р 8.640-2008" в формате pdf 