| |
| Обозначение | ГОСТ Р 8.643-2008 |
| Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки |
| Заглавие на английском языке | State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers for extreme ultraviolet in region 10 - 30 nm. Verification procedure |
| Дата введения в действие | 01.02.2009 |
| ОКС | 17.020 |
| Код КГС | Т84 |
| Код ОКСТУ | 0008 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения - ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн 10 - 30 нм, и устанавливает методику их поверки |
| Ключевые слова |
рефлектометр; коэффициент диффузного отражения; коэффициент зеркального отражения; средство измерений; вакуумное ультрафиолетовое излучение; экстремальный ультрафиолет; |
| Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
| Дескрипторы (английский язык) | state system, ensuring, uniformity, measurements, reflectometers, extreme ultraviolet, verification procedure |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 8.197-2005;ГОСТ 8.207-76;ГОСТ 8.552-2001 |
| Документ внесен организацией СНГ | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии |
| Управление Ростехрегулирования | 310 - Управление метрологии |
| Технический комитет России | 386 - Основные нормы и правила по обеспечению единства измерений в области ультрафиолетовой спектрорадиометрии |
| Дата последнего издания | 18.07.2008 |
| Количество страниц (оригинала) | 8 |
| Организация - Разработчик | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений" (ФГУП ВНИИОФИ) |
| Статус | Действует |
Скачать бесплатно "ГОСТ Р 8.643-2008" в формате pdf 