| |
Обозначение | ГОСТ 26239.3-84 |
Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы определения фосфора |
Заглавие на английском языке | Semiconductor selicon, raw materials for its production and quartz. Methods of phosphorus determination |
Дата введения в действие | 01.01.1986 |
ОКС | 29.045 |
Код КГС | В59 |
Код ОКСТУ | 1709 |
Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает экстракционно-фотометрический метод определения фосфора в техническом кремнии, экстракционно-колориметрический метод определения фосфора в трихлорсилане и тетрахлориде кремния и двуокиси кремния (синтетическом кварце); нейтронно-активационный метод определения фосфора в полупроводниковом кремнии |
Ключевые слова |
кремний полупроводниковый; кремний технический; трихлорсилан; тетрохлорид кремния; двуокись кремния; определение фосфора; метод экстракционно-фотометрический; метод экстракционно-колориметрический; метод нейтронно-активационный; аппаратура; материалы; реактивы; |
Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
Вид требований | Документ имеет отметку * |
Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 2603-79;ГОСТ 3765-78;ГОСТ 4198-75;ГОСТ 4328-77;ГОСТ 6006-78;ГОСТ 6259-75;ГОСТ 6709-72;ГОСТ 9285-78;ГОСТ 10484-78;ГОСТ 10931-74;ГОСТ 11125-84;ГОСТ 14261-77;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 20288-74;ГОСТ 20490-75;ГОСТ 26239.0-84;ГОСТ 26239.1-84 |
Нормативные ссылки на: Прочие | ТУ 6-09-5384-88;ОСП 72/80 |
Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
Разработчик МНД | Российская Федерация |
Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
Дата последнего издания | 21.01.1985 |
Входит в сборник | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа |
Количество страниц (оригинала) | 17 |
Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
Статус | Действует |