| |
| Обозначение | ГОСТ 26239.8-84 |
| Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination |
| Дата введения в действие | 01.01.1986 |
| ОКС | 29.045 |
| Код КГС | В59 |
| Код ОКСТУ | 1709 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом |
| Ключевые слова |
кремний полупроводниковый; кремний четыреххлористый; очистка ректификационная; смесь; трихлорсилан; анализ хроматографический; аппаратура; материалы; реактивы; |
| Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
| Вид требований | Документ имеет отметку * |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 2603-79;ГОСТ 5072-79;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 25336-82;ГОСТ 26239.0-84 |
| Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
| Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
| Разработчик МНД | Российская Федерация |
| Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
| Дата последнего издания | 21.01.1985 |
| Входит в сборник | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа |
| Количество страниц (оригинала) | 9 |
| Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
| Статус | Действует |
Скачать бесплатно "ГОСТ 26239.8-84" в формате pdf 