| |
| Обозначение | ГОСТ 5.2105-73 |
| Заглавие на русском языке | Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции |
| Заглавие на английском языке | Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products |
| Дата введения в действие | 01.09.1973 |
| ОКС | 31.260 |
| Код ОКП | 443500 |
| Код КГС | Э72 |
| Код ОКСТУ | 6687 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 5929 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов |
| Вид стандарта | Стандарты на продукцию (услуги) |
| Управление Ростехрегулирования | 220 - Управление стандартизации и сертификации в машиностроении |
| Разработчик МНД | Российская Федерация |
| Дата последнего издания | 04.10.1973 |
| Количество страниц (оригинала) | 13 |
| Статус | Действует |
Скачать бесплатно "ГОСТ 5.2105-73" в формате pdf 