ГОСТ 26239.6-84
Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана
Обозначение | ГОСТ 26239.6-84 |
Заглавие на русском языке | Кремний четыреххлористый. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана |
Заглавие на английском языке | Silicon tetrachloride. Method of dichlorsilane, trichlorsilane, silicon tetrachloride, 1,3,3,3-tetrachlordisiloxane, 1,1,3,3-tetrachlordisilane, pentachlordisiloxane, hexachlordisiloxane, hexaclordisilane determination |
Дата введения в действие | 01.01.1986 |
ОКС | 29.045 |
Код КГС | В59 |
Код ОКСТУ | 1709 |
Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает хроматографический метод определения дихлорсилана, трихлорсилана, тетрахлорида кремния, 1,3,3,3-тетрахлордисилоксана, 1,1,3,3-тетрахлордисилоксана, пентахлордисилоксана, гексахлордисилоксана, гексахлордисилана в четыреххлористом кремнии |
Ключевые слова | кремний четыреххлористый;анализ хроматографический;аппаратура;материалы;реактивы |
Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
Вид требований | Документ имеет отметку * |
Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 2603-79;ГОСТ 5072-79;ГОСТ 9293-74;ГОСТ 18300-87;ГОСТ 20015-74;ГОСТ 26239.0-84 |
Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
Разработчик МНД | Российская Федерация |
Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
Дата последнего издания | 21.01.1985 |
Входит в сборник | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа |
Количество страниц (оригинала) | 9 |
Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
Статус | Действует |
Справочник ГОСТов, ТУ, стандартов, норм и правил. СНиП, СанПиН, сертификация, технические условия